大氣壓

70~106Kpa

工作臺(tái)面中心振動(dòng)靜位移μm(rms)

4.1

主過濾器類別

ULPA

人員保護(hù)

2.1*100000

主過濾器效率

99.9995%@0.12μm

下降氣流速度(m/s）

0.28

流入氣流速度(m/s）

0.55

外排風(fēng)量（m3/h）

440

頻率

50Hz±1Hz

工作室內(nèi)表面材質(zhì)

SUS304

重量（Kg）

258

腳輪

有

柜內(nèi)插座配置（防濺插座個(gè)數(shù)）

1個(gè)防濺插座

固定底腳

可調(diào)高度75mm，無裸露螺紋

過濾器阻塞報(bào)警

有

過濾器破損報(bào)警

有

前窗玻璃防紫外線

有